一級防靜電工作區的地面和牆面，柱面應選用導靜電材料，導靜電型地面，牆面，柱面應滿足下列技術指標：

（1）表面電阻 對地電阻應為2.5*10⁴Ω~1.0*10⁶Ω

（2）摩擦起電電壓絕對值不應大於100V

（3）靜電半衰期不應大於0.1s

二級防靜電工作區的地面和牆面，柱面，頂棚和門面，軟簾應選用靜電耗散查漏，靜電耗散型地面，牆面，頂棚和門面應滿足下列技術指標：

（1）表面電阻 對地電阻應為2.5*10⁶Ω~1.0*10⁹Ω

（2）摩擦起電電壓絕對值不應大於200V

（3）靜電半衰期不應大於1s，摩擦起電電壓絕對值可不大於300V